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半导体产业洁净室粒子浓度等级划分原则

发布日期:2023-05-10 16:12:17责任编辑:www.szchinaway.com

无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求洁净度、温湿度及压力等级能特性。


洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。


经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。依据美国联邦政府颁布的标准【FederalAtandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级:分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。


如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸是0.5um,无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。


1级;这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求位亚微米。


10级;这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。


100级;很多人认为。这一季无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间。人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于。植入体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。


1000级;这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配高质量微型轴承等。


10000级;万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。


100000级;十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压的制造,食品饮料的生产,医药工业也常常使用这一级无尘车间。


无尘车间是一个多功能的归纳整休,多功能表现在以下两个方面。


多专业--修建、空调、净化、纯水、纯气; 多参数--空气洁净度、细菌浓度以及空气的风量、压力、噪声、照度,万级无尘车间强度高,隔热保温,可作天花围护布局板材承重,抗弯抗压,一般洁净室比较少用梁柱。


无尘车间设计要点:


一、满足生产工艺对建筑设计的要求,实现高性能的制造空间与设施。在对净化工程 无尘车间进行总图设计、平面布置、剖面设计时,必须充分考虑场地的合理利用和满足工艺生产的要求。在对净化无尘车间工程的建筑进行设计时,必须处理好洁净区域与其相关的辅助区的关系。


二、实现能够经济运行的设施,节约能源、易于维护、降低造价。净化无尘车间建筑设计,必须确保净化无尘车间内清洁、易清扫、防止内外污染,防止微粒产生、滞留和积存。

三、应使用可靠性高的运行设施,净化无尘车间建筑设计,应确保建筑设备的安全运行,当一旦出现事故后,确保人员、财产安全。主体结构应具备同净化无尘车间内的工艺装备水平,建筑处理和装饰水平相适应的等级水平,洁净厂房的耐久性、耐火能力,装修应与装备水平相互协调,使投资长期长挥作用。


四、应实现能够适应将来变化的设施,洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有灵活性,为生产工艺的调整创造条件。


CW一RPC系列远程激光尘埃粒子计数器是赛纳威研发的智能多点监控系统的终端设备,可以通过RJ45网络接口、WiFi、485 (moudbus)等,将数据传输给PC终端,为用户提供实时准确的车间微粒数量和净化等级。该粒子计数器按照国际标准IS014644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,其计数效率和准确性满足JJF1190-2008《尘埃粒子计数器》校准依据,专业应用于电子行业、制药车间、食品、药品车间、半导体、光学或精密机械加工车间等洁净环境;用户可根据需要增加或减少控制终端,可实现7*24实时远程自动监测,有助于企业提升自动化、精细化管理。


在线尘埃粒子计数器
名称在线尘埃粒子计数器
型号CW-RPC200、CW-RPC300、CW-RPC600


粒子计数器设备分落散布在车间各监控点位,由安装了系统监控软件的主控电脑控制各采集点的工作状态;监控软件可选择设定测试粒径、测试时间、采样间隔、刷新频率、显示单位、采样模式和超限报警等,并可对测试历史数据按需求进行查询、统计、分析及绘制曲线图,并可提供moudbus485通讯协议对接用户物联网平台,供用户自行开发和应用。

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