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半导体产业行业无尘车间使用粒子检测仪器

发布日期:2021-01-21 16:30责任编辑:www.szchinaway.com
半导体产业行业无尘车间使用粒子检测仪器
 
在现代科技日新月异的今天,半导体器件特征尺寸快速缩减,晶体管集成度大约每18个月翻一倍,集成电路可靠性受到越来越多的关注,尤其是NBTI诱发的老化和高能粒子辐射诱发的软错误严重影响着集成电路生命周期。负温度偏置不稳定性(NBTI)会影响电路的最大工作频率并最终导致电路出现时序违规问题,导致电路失效;而航空航天环境下的高能粒子辐射会诱发单粒子翻转(SEU),这些软错误可能会传播到输出端使得最终结果出错,这在一些安全关键领域是绝对不能容忍的,因此对集成电路可靠性的研究势在必行。
 
1947年晶体管在美国贝尔实验室诞生标志着半导体时代的开启,1958年集成电路的出现加速了半导体行业的发展经过半个世纪半导体行业日渐成熟,形成了材料设备——设计——制造——封装测试完整的产业链。目前,中国拥有全球最大且增速最快的半导体消费市场。2018年,中国半导体产业产值达6532亿元,比上年增长20.7%。巨大的下游市场配合积极的国家产业政策与活跃的社会资本,正在全方位、多角度地支持国内半导体行业发展。我国光伏、显示面板、LED等高新技术行业经过多年已达到领先水平,也大力拉动了上游的功率半导体、显示驱动芯片、LED驱动芯片等集成电路的国产化进程。
 
无尘车间洁净室的特点
 
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格,其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。
 
半导体无尘车间施工
 
芯片生产车间无尘室、集成电路无尘车间洁净室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
 
1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
6、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
7、电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。
 
无尘室的送风量,应取下面三项最大值:
 
1:保证电子制造厂无尘车间洁净室空气洁净度等级的送风量;
2:根据热,湿负荷计算确定电子厂无尘车间洁净室的送风量;
3:向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量。
 
CW-RPC300远程遥测激光尘埃粒子计数器是深圳赛纳威研发的智能多点净化检测系统的终端设备。为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级。根据不同需要增加或减少控制终端,可实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。
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