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净化工程半导体车间中用于检测空气洁净度等级的仪器

发布日期:2021-01-21 16:27责任编辑:www.szchinaway.com
净化工程半导体车间中用于检测空气洁净度等级的仪器
 
美国这次对华为的芯片打压,确实让我国开启了一股芯片潮,使得我国半导体芯片的市场发生了巨大的变化,中国被迫开始加快芯片的研究。不仅私企在研究芯片,就连我国的中科院也开始在光刻机这类一直没有进展的技术上进行再次研发,相信再过不久国内将出现更多的过程芯片IP,空白的芯片半导体市场也将会被填满。
 
很多人很可能对这个行业的凶险没有深刻的认识,一味蛮干后果只可能是血本无归,但如果认清其中的规律,这么艰难的市场也不是全然没有逆袭的机会。我国对于这次芯片自主研发也将势在必得,再也不用被他国人限制。国产芯片的到来也已经不再久远,我们正在向芯片国产化高度靠拢。
 
一般的机械加工是不需要洁净室(clean room)的,因为加工分辨率在数十微米以上,远比日常环境的微尘颗粒为大。但进入半导体组件或微细加工的世界,空间单位都是以微米计算,因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上,便有可能影响到其上精密导线布局的样式,造成电性短路或断路的严重后果。为此,所有半导体制程设备,都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中,这就是洁净室的来由。
 
洁净室的洁净等级,有一公认的标准,以class 10为例,意谓在单位立方英寸的洁净室空间内,平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。所以class后头数字越小,洁净度越佳,当然其造价也越昂贵。为营造洁净室的环境,有专业的建造厂家,及其相关的技术与使用管理办法如下:
 
1、内部要保持大于一大气压的环境,以确保粉尘只出不进。所以需要大型鼓风机,将经滤网的空气源源不绝地打入洁净室中。
2、为保持温度与湿度的恒定,大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。换言之,鼓风机加压多久,冷气空调也开多久。
3、所有气流方向均由上往下为主,尽量减少突兀之室内空间设计或机台摆放调配,使粉尘在洁净室内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。
4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。
5、所有人事物进出,都必须经过空气吹浴 (air shower) 的程序,将表面粉尘先行去除。
6、人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源,为此务必严格要求进出使用人员穿戴无尘衣,除了眼睛部位外,均需与外界隔绝接触 (在次微米制程技术的工厂内,工作人员几乎穿戴得像航天员一样。) 当然,化妆是在禁绝之内,铅笔等也禁止使用。
7、除了空气外,水的使用也只能限用去离子水 (DI water, de-ionized water)。一则防止水中粉粒污染晶圆,二则防止水中重金属离子,如钾、钠离子污染金氧半 (MOS) 晶体管结构之带电载子信道 (carrier channel),影响半导体组件的工作特性。去离子水以电阻率 (resistively) 来定义好坏,一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格;为此需动用多重离子交换树脂、RO逆渗透、与UV紫外线杀菌等重重关卡,才能放行使用。由于去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,其在半导体工业之使用量极为惊人!
8、洁净室所有用得到的气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气 (98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮! 
 
以上八点说明是最基本的要求,另还有污水处理、废气排放的环保问题,再需要大笔的建造与维护费用!
 
深圳市赛纳威环境科技有限公司成立于2005年,是一家专业从事环境检测仪器及环境监测治理系统开发和制造的高科技企业,拥有由留美博士、硕士和光机电及软件工程师组成的一流研发团队。公司早期开发的净化车间专用尘埃粒子计数器系列产品和气体检测仪器系列产品已经在国内外市场上占据了较高的市场份额,聚焦和满足客户的需求,提供极具竞争力的优质空气检测及治理产品和售后服务,帮助用户实现“高效便捷“的工作目标,努力为客户创造长期价值。
 
主要服务范围:质量监督所等权威检验机构、超大规模集成电路超净车间(室),电子行业、医疗卫生、食品加工、光学或精密机械等生产企业和航空航天等科研部门检测净化环境、无尘室洁净级别的理想仪器。
 
主要客户类型:电子制造、光电光学、印刷包装、生物制药、食品、香料、化妆品、医疗器械、精细化工、液晶显示、医院、实验室、图书馆、数据机房、酒店、办公楼、商场等。
 
公司以新颖的技术工程设计、严格的产品管理、完善的技术服务,销售了数百上万个各种级别、各种行业的尘埃粒子浓度等级测量仪器,专业服务于电子制造、光电光学、印刷包装、生物制药、食品、化妆品、医疗器械、精细化工、液晶显示等行业。严格的质量管理体系保障产品设备的质量,完善的售后服务使客户无忧。
 
现部份客户有:华为技术有限公司、OPPO广东移动通信有限公司、富士康科技集团、伟创力科技(珠海)有限公司、中强光电科技有限公司、苏州璨宇光学有限公司、创维集团有限公司、新华三技术有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、江苏亨通光电股份有限公司、深圳市帝晶光电科技有限公司、广东领益智造股份有限公司、珠海恩捷新材料科技有限公司、合肥国轩高科动力能源有限公司、胜宏科技(惠州)股份有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、内蒙古蒙牛乳业(集团)股份有限公司、红牛维他命饮料有限公司、周黑鸭国际控股有限公司、新乡市口口妙食品有限公司、江苏九龙汽车制造有限公司、惠州市德赛西威汽车电子股份有限公司、广东嘉元科技股份有限公司、深圳市锦瑞生物科技有限公司。
 
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