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半导体洁净厂房专用在线粒子计数器技术探讨-赛纳威16年经验分享

发布日期:2021-01-21 16:18责任编辑:www.szchinaway.com
半导体洁净厂房专用在线粒子计数器技术探讨-赛纳威16年经验分享
 
半导体作为信息产业的物质基础,很多科学家在不断追求提高半导体制造技术和工艺的同时,也渴望这些新技术能够以更快的速度转化为产品,造福我们全人类的生产和生活,这就要求电子半导体的制造商们能够高效率地利用有限的设备进行生产。不过集成电路半导体大部分是晶体硅,我们大家也知道硅其实是一种比较特殊的东西,它不溶于各种强酸和各种弱酸,就只能溶于氢氟酸,而这也就造成了一个现象:当人体吸入硅粉尘的时候,那就很容易就得了尘肺,而且怎么也治不好。
 
对于此,半导体芯片的生产真是有着非常繁杂的流程,而无尘则是此中非常关键的步骤。目前在一些高端高精密的洁净厂房,对悬浮于空气中的气态分子污染物的要求越来越严,很多企业都对自家的无尘车间采用了严格的防控措施,比如保证人净的措施、保证进入车间物料的净化、保证进入半导体集成电路车间内的空气是洁净的、保证净化空调系统的送风量、按要求保证洁净车间内的正静压值等有效防控措施。
 
这些措施确实帮助企业有效保证了半导体车间的洁净度,不过无尘车间运行一段时间后,总免不了在一些死角、壁面、台面上会积存一些尘埃,而且半导体集成电路在生产过程中会接触到很多污染物,当颗粒杂质、无机离子等各种物质的含量超过一定限度时,集成电路产品会出现表面划伤、针孔、脱皮等现象,导致电路泄漏和异常电气特性,轻则影响电路性能和使用寿命,重则导致电路报废。鉴于此,采用深圳赛纳威研发生产获得国家专利的多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统,可有效解决不能实时准确了解集成电路车间内尘埃粒子浓度的问题。
 
该仪器是深圳赛纳威经过多年的技术积累与创新,基于国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定研发生产的CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器,能够为半导体、柔性显示面板制造提供成熟可靠的7*24实时远程自动监测功能,解决这些行业面临的无尘车间粒子浓度监测的难题。而且CW-RPC系列粒子计数器可根据不同需要增加或减少控制终端,并能通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。尤其是这样的一台设备可以连续使用多年,真是可以为企业节省相当可观的开支,并且没有二次污染,亦解决了企业的头疼大事。
 
CW-RPC系列多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统的作用不仅体现在能够即时获取电子半导体车间内的微粒、检测微粒数据变化和实时控制监测仪器,还可以为集成电路半导体企业节省大量的人力物力。所以搭载了CW-RPC系列多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统的车间就可以轻松地实现实时监控、获取车间微粒数据流量等等,方便对当天或某个阶段的无尘车间尘埃粒子进行统计,进而在短时间内作出相应的调整,对下一阶段的半导体车间生产任务做出合理的安排。而且半导体工厂车间原来需要多名或十几名工人同时进行操作仪器监测微粒数量,现在只需要几名甚至一名即可完成一样的监测任务,这对于生产效率的提升是大有裨益的。
 
CW-RPC系列多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统可监测超净工作台、生物安全柜、HVAC系统、计算机室,食品、饮料包装环境,药品、医疗器械生产环境,医院洁净手术室,汽车喷涂环境等等需要洁净环境的区域,适用于各种无尘车间、洁净室、公共环境等场所的粉尘粒子浓度监测,是生物制药、医疗器械、精细化工、大气研究、饮料包装、食品卫生、空气净化与治理等生产和科研单位的首选仪器,采用高端半导体激光二极管与先进光学传感器,配合微控制器技术,具有测量精度高,响应速度快,稳定性和重复性好的特点,并且仪器一次采样可同时测得多种粒径的尘埃粒子数。
 
CW-RPC系列多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器品质优良,性能可靠,其基本原理是光学传感器的探测激光经尘埃粒子散射后被光敏元件接收并产生脉冲信号,该脉冲信号被输出并放大,然后进行数字信号处理,通过与标准粒子信号进行比较,将对比结果用不同的参数表示出来,它是专业人员验证ISO洁净室(级别5~9)和调查室内空气质量问题的绝佳产品解决方案。我们可以根据不同的集成电路半导体洁净厂房的要求,在不同的洁净区域内设计相应的远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统,这样既可以满足监测的要求又能降低企业微粒数量采样的成本,已经在国内外市场上占据了较高的市场份额,被专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。
 
产品类别:在线式尘埃粒子计数器
产品名称:远程粒子计数器
产品品牌:深圳赛纳威
产品型号:CW-RPC系列
性能特征:
同时对两个通道粒径进行采样监控
采样模式:累积/差分/浓度
自动远程现场超限报警
RJ45接口高速数据传输
POE供电或6~9V直流适配器供电
POE自动识别终端的合法性和安全性
POE自动供电与自动断电的智能机制
7/24连续远程监测
性能参数:

粒子计数器
 
关键字 : 粒子计数器 无尘洁净室 车间洁净度
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