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远程激光尘埃粒子计数器及监控系统——赛纳威远程在线式粒子计数器

发布日期:2021-01-21 16:17责任编辑:www.szchinaway.com
远程激光尘埃粒子计数器及监控系统——赛纳威远程在线式粒子计数器
 
智能制造自动化生产在社会工业化中占据着举足轻重的地位,集成电路、半导体、显示面板等行业也逐渐成为我国新的支柱型产业,一方面这非常有利于获取高额的行业利润,但另一方面我国信息技术发展面临着高端芯片等核心产品技术受制于人、信息领域的基础理论正处于拐点期等挑战,中国企业也需要加把劲举行科技研发,相信在不久的将来中国也能有属于自己的半导体家当生态链。
 
集成电路及半导体工业发展迅速
 
近年来我国半导体工业发展迅速,但半导体芯片的生产过程中却使用了太多以往不曾使用的各种特殊材料气体,这些气体所具有的危害性非常多,比如自燃性、助燃性、自行分解性、窒息性等,尤其是其毒性一般非常强;另外这些气体中有许多对人体有害的物质,其中易燃易爆的特殊材料气体例如硅烷泄漏后易引起火灾爆炸事故的发生。因为这些气体多在洁净室内具有密封性的环境中使用,所以半导体器件生产除了要求恒温恒湿外,对生产环境洁净度的要求也很严,比如需要根据按单位体积重规定的尘埃粒子数标准分成的洁净度等级来设计本企业生产半导体电子元器件的无尘车间。
 
所谓半导体电子洁净车间,指的是洁净度在10万级标准以上的车间,主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算,国际标准IOS14644-1、国标GB50073-2013、美联邦标准中均有规定洁净室和洁净区内空气以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。在洁净车间的工艺制造过程中,通过对关键区域的环境粒子精确测量并计数来保证高品质是比较重要的一点,激光粒子计数器就是洁净环境监测的重要手段,对于研究、检测和评价各种洁净环境都十分方便,在精密仪器制造、药品生产和半导体电子等多个行业有着广泛的应用。
 
远程在线式尘埃粒子计数器原理
 
简单来说,尘埃粒子计数器是用来测量洁净环境中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器,其基本原理就是光学传感器的探测激光经尘埃粒子散射后被光敏元件接收并产生脉冲信号,该脉冲信号被输出并且放大,然后进行数字信号处理,通过跟标准粒子信号进行比较,将对比结果用不同的参数表示出来。光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关,但是以散射光强度和微粒大小而言,有一个基本的规律,就是微粒散射光的强度随着微粒的表面积增加而增大。这样一定流量的含尘气体通过一束强光,让粒子发射出散射光,经过聚光透镜投射至光电倍增管上,将光脉冲变为电脉冲,由脉冲数可求得颗粒数。根据粒子散射光的强度和粒径的函数关系可得出粒子直径。这样只要测定散射光的强度就可以推知微粒的大小,这就是光散射式粒子计数器基本原理。
 
粒子计数器由显微镜发展而来,经历了显微镜、沉降管、沉降仪、离心沉降仪、颗粒计数器、激光空气粒子计数器、PCS纳米激光空气粒子计数器的过程,其中因激光空气粒子计数器测试速度快、动态分布宽、不受人为影响等各方面的优势,而成为很多行业的主流产品。深圳赛纳威就是一家专业从事环境检测仪器及环境监测治理系统开发和制造的高科技企业,拥有由留美博士、硕士和光机电及软件工程师组成的一流研发团队,公司早期开发的净化车间专用尘埃粒子计数器系列产品和气体检测仪器系列产品已经在国内外市场上占据了较高的市场份额,帮助大量用户实现了“高效便捷”的工作目标,并一直在努力为客户创造长期价值。
 
尘埃粒子计数器及远程监控系统
 
赛纳威研发生产的多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统是智能多点净化检测系统的终端设备,该系列仪器性能设计先进、质量稳定可靠,不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级,还能根据不同需要增加或减少控制终端,实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况,该系列产品已被广泛应用于计算机室、医疗器械生产环境、医院洁净手术室、汽车喷涂、制药、生化制品、食品卫生、精细化工、精密机械和航空航天等生产和科研部门,是制药企业及其监督管理部门贯彻GMP规范及电子生产企业的首选仪器。
 
该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,一次采样可同时测得多个粒径通道的尘埃粒子数,并可同时观察到多个粒径通道粒子的数目及其变化情况,可以满足医药行业(制药厂、药检所、医院手术室等)、电子行业(半导体工厂、精密机械的生产加工等)、食品卫生行业(乳制品、塑封肉食品、调味食品、农产品等的精加工)、过滤器生产厂家、检验过滤器的质量及效率等、光学、航空航天等领域的精加工、精密试验所需的洁净室(区)等的检测需要,是一款不可多得的专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统的高科技仪器。
 
多通道远程激光尘埃粒子计数器产品简介
 
CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是智能多点净化检测系统的终端设备,可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级,并能根据不同需要增加或减少控制终端,实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。
 
多通道远程激光尘埃粒子计数器功能指标
 
同时对两个通道粒径进行采样监控
采样模式:累积/差分/浓度
自动远程现场超限报警
RJ45接口高速数据传输
POE供电或6~9V直流适配器供电
POE自动识别终端的合法性和安全性
POE自动供电与自动断电的智能机制
7/24连续远程监测
 
多通道远程激光尘埃粒子计数器技术特点

尘埃粒子计数器
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