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半导体行业洁净室尘埃粒子在线监控系统

发布日期:2021-01-20 15:13责任编辑:www.szchinaway.com
2020年,我国成功应对新冠肺炎疫情带来的严重冲击,在全球跨国直接投资大幅下降的背景下,全年实际使用外资逆势增长,实现了引资总量、增长幅度、全球占比“三提升”,圆满完成稳外资工作目标。

洁净室采用台式尘埃粒子计数器、压差计和温湿度计等仪器进行流动式测试,首先布置采样点平面图,然后用台式尘埃粒子计数器流动式测试各个采样点的空气粒子个数,将数据输入电脑,整理数据,绘出尘埃粒子分布图。
 
根据洁净室设计规范,布置采样点时,采样点个数是用洁净室面积开平方确定的。这些点仅仅是洁净室大环境下的尘埃粒子测试点,不包括相关工序上的尘埃粒子控制点,粒子计数传感器安装不灵活,不能检测各个工序上的尘埃粒子数。
 
现有的多点检测装置,在每个点都使用一个气泵,而气泵是洁净室的一种新的污染源。洁净室尘埃粒子在线监控系统中,所述数据发射装置包括通信接口和无线发射器,所述尘埃粒子计数传感器将采集的尘埃粒子数据经过所述通信接口转换后再通过所述无线发射器无线发送给所述无线路由。
 
洁净室尘埃粒子在线监控系统中,所述通信接口为RS485的通信接口。洁净室尘埃粒子在线监控系统中,所述监控终端为安装有PLC系统、且可以根据获取的尘埃粒子数据实时监控洁净室内各检测点的尘埃粒子数的变化趋势的计算机。
 
尘埃粒子计数传感器采用光电池代替原来的电源适配器,该光电池可以将如日光灯的光能转化为电能,使得尘埃粒子计数传感器的安装不受电源适配器的限制;在洁净室内采用无线路由和无线接收节点设备将尘埃粒子计数传感器采集的数据进行无线传输和接收,无需在洁净室内安装网线,避免了网线表面硅的污染,减少了洁净室内的集尘源。
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