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半导体组件洁净室智能多点监控系统的终端设备

发布日期:2021-01-19 16:08责任编辑:www.szchinaway.com
物质存在的形式是多种多样的,比如固体、液体、气体、等离子体等。通常情况下我们把导电性差的材料,如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体,而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体。另外对于介于导体和绝缘体之间的材料可以简单的称为半导体。与导体和绝缘体相比,半导体材料的发现是最晚的,直到20世纪30年代,当材料的提纯技术改进以后,半导体的存在才真正被学术界认可。
 
不过半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。越来越多的行业正在加快技术创新的步伐,这将推动半导体行业的持续增长。
 
从相关数据看出,2019年下半年以来全球半导体步入了新一轮“向阳”周期,同时在双循环发展新格局下,行业将迎来更多的政策红利。在未来,如汽车电子市场将强劲增长,成为继消费电子之后又一重要驱动,促进产业链持续成长。毫无疑问,在尖端半导体的设计和制造方面,中国企业将会沿着进一步自给自足的道路前进。现有的国内半导体公司已经进行并将继续进行的各种相关投资,最终将使我国形成一个更加自给自足的生态系统。
 
半导体器件,尤其是高密度的集成电路,易受到各种污染的损害。器件对于污染的敏感度取决于较小的特征图形的尺寸和晶片表面沉积层的薄度。目前的量度尺寸已经降到亚微米级,这种非常小的器件尺寸导致器件极易受到由人员,设备和工艺操作用使用的化学品所产生的存在于空气中的颗粒污染的损害。由于特征图形尺寸越来越小,膜层越来越薄,所允许存在的微粒尺寸也必须被控制在更小的尺度上。
 
一般的机械加工是不需要洁净室的,因为加工分辨率在数十微米以上,远比日常环境的微尘颗粒为大。但进入半导体组件或微细加工的世界,微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上便有可能影响到其上精密导线布局的样式,造成电性短路或断路的严重后果。为此,所有半导体制程设备,都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中,这就是洁净室的来由。
 
洁净室的洁净等级,有一公认的标准,以class 10为例,意谓在单位立方英呎的洁净室空间内,平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。所以class后头数字越小,洁净度越佳,当然其造价也越昂贵。其实严格的来讲,洁净室不仅仅是控制空气中的微小颗粒,他要控制的是整个车间(洁净室)里面的微粒子,灰尘,细菌和微生物等等,除了要控制这些,洁净室一般还得控制温湿度等其他参数。
 
CW一RPC系列远程激光尘埃粒子计数器是赛纳威研发的智能多点监控系统的终端设备,可以通过RJ45网络接口、WiFi、485 (moudbus)等,将数据传输给PC终端,为用户提供实时准确的车间微粒数量和净化等级。该粒子计数器按照国际标准IS014644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,其计数效率和准确性满足JJF1190-2008《尘埃粒子计数器》校准依据,专业应用于电子行业、制药车间、食品、药品车间、半导体、光学或精密机械加工车间等洁净环境;用户可根据需要增加或减少控制终端,可实现7*24实时远程自动监测,有助于企业提升自动化、精细化管理。
 
粒子计数器设备分落散布在车间各监控点位,由安装了系统监控软件的主控电脑控制各采集点的工作状态;监控软件可选择设定测试粒径、测试时间、采样间隔、刷新频率、显示单位、采样模式和超限报警等,并可对测试历史数据按需求进行查询、统计、分析及绘制曲线图,并可提供moudbus485通讯协议对接用户物联网平台,供用户自行开发和应用。

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