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半导体洁净无尘室在线尘埃粒子监控系统,在线空气粒子传感器

发布日期:2021-01-19 16:02责任编辑:www.szchinaway.com
半导体洁净无尘室在线尘埃粒子监控系统,在线空气粒子传感器
 
洁净车间,亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
 
洁净车间洁净程度和控制污染的持续稳定性,是检验洁净室质量的核心标准,该标准根据区域环境、净化程度等因素,分为若干等级,常用的有国际标准和国内区域行业标准,一些知名净化工程公司,在通行标准之外,还设有自身执行的高于国际化通行标准的净化指标,净化能力和环境适应力远超国际品牌。
 
一般以工业铝材(不锈钢方通、喷塑方通)做框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周采用防静电垂帘,顶部铺盖密缝盲板,形成一个密缝区,内部净化级别可达100---10万级;特别适用于车间内局部对洁净度要求高的区域,如流水线作业区的高精确度产品组装区。伴随着FDA和EU GMP在国内影响力的扩大以及国内新版GMP的推出,制药企业洁净区环境的动态监测,特别是悬浮粒子的动态监测成为药企必须跨越的门槛。
 
洁净区环境在线监测系统是将多台远程粒子传感器安装在车间内各个关键采样点,通过传感器实时对监测区域空气进行采样、记录,并将监测结果传送到控制计算机,使用符合21CFR PART11的专业制药监控软件进行处理,即可实现对悬浮粒子的动态监测。
 
系统包含如下内容:
 
(1) 粒子监测系统
(2) 浮游菌采样系统;
(3) 温湿度、压差等扩展监测系统;
(4) 现场警报系统;
(5) 符合21CFR PART11的监测软件系统;
(6) 中央真空系统;
(7) 项目管理、安装调试、系统测试;
(8) 项目验证文件系统;
(9) 培训及售后服务。
 
我们将清晰和准确地根据用户希望的系统功能来进行设计、施工。客户需求包含既定的工程进度、系统的运作数据、运行环境;非功能性的需求限制,例如时间和成本,最终需要交付怎样的系统。
 
尘埃粒子计数器是测试空气尘埃粒子颗粒的粒径及其分布的专用仪器,具体工作原理:来自光源的光线被透镜组1聚焦于测量腔内,当空气中的每一个粒子快速地通过测量腔时,便把入射光散射一次,形成一个光脉冲信号。这一光信号经过透镜组2被送到光检测器,正比地转换成电脉冲信号,再经过仪器电子线路的放大、甄别,拣出需要的信号,通过计数系统显示出来。
 
市场上有分国产和进口在线粒子计数器,随着国内科技的发展,国产粒子计数器系统也涵盖几乎所有污染控制系列解决方案(包括空气微粒计数、液体微粒计数、空气分子污染、静电控制、温湿度、总有机碳监测等)。这些解决方案现今被广泛应用在半导体、数据存储、制药、生物技术、航天、防御和汽车喷涂等领域中,以及将环境监控与运营绩效相联系的客户。
 
粒子计数器提供在线式和便携式、手持式等多种型号,专业用于洁净室尘埃粒子的监测、验证和认证等工作,采用超长寿命激光源,经测试可无故障运行10年以上,生成的报告符合FDA、欧盟及中国GMP标准,为企业的GMP认证提供完整的数据支持。选择时需注意以下标准:
 
1、按测试原理:光散乱法测试(白光、激光)、显微镜法测试、称重法测试、DMA法测试(粒径分析仪)、惯性法测试、扩散法测试、凝聚核法测试(CNC)等。
2、按流量:小流量0.1cfm(2.83L/min)大流量1cfm(28.3L/min)
3、按形状、体积大小:手持式、台式
4、按测试通道:单通道(只测某一种粒子径);双通道(测试某两种粒子径);多通道(测试多种粒子径)
5、其他:粒子计数器的应用领域
 
CW一RPC系列远程激光尘埃粒子计数器是赛纳威研发的智能多点监控系统的终端设备,可以通过RJ45网络接口、WiFi、485 (moudbus)等,将数据传输给PC终端,为用户提供实时准确的车间微粒数量和净化等级。该粒子计数器按照国际标准IS014644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,其计数效率和准确性满足JJF1190-2008《尘埃粒子计数器》校准依据,专业应用于电子行业、制药车间、食品、药品车间、半导体、光学或精密机械加工车间等洁净环境;用户可根据需要增加或减少控制终端,可实现7*24实时远程自动监测,有助于企业提升自动化、精细化管理。
 
粒子计数器设备分落散布在车间各监控点位,由安装了系统监控软件的主控电脑控制各采集点的工作状态;监控软件可选择设定测试粒径、测试时间、采样间隔、刷新频率、显示单位、采样模式和超限报警等,并可对测试历史数据按需求进行查询、统计、分析及绘制曲线图,并可提供moudbus485通讯协议对接用户物联网平台,供用户自行开发和应用。

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