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集成多种高端技术,半导体洁净室实时在线监测系统尘埃粒子计数器

发布日期:2021-01-19 15:55责任编辑:www.szchinaway.com
集成多种高端技术,半导体洁净室实时在线监测系统尘埃粒子计数器
 
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
 
洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
 
尘埃粒子计数器是测试空气尘埃粒子颗粒的粒径及其分布的专用仪器,由显微镜发展而来,经历了显微镜、沉降管、离心沉降仪、沉降仪、颗粒计数器、激光空气粒子计数器、凝结核粒子计数器、多通道多功能粒子计数器等过程,目前 广泛应用于为各省市药检所、血液中心、防疫站、疾控中心、质量监督所等权威机构、电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工、塑胶、喷漆、医院、环保、检验所等生产企业和科研部门。
 
尘埃粒子计数器工作原理
 
粒子计数器是一种利用光的散射原理进行尘粒计数的仪器。光散射和微粒大小、微粒折射率、光波波长及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒的大小而言,有一个基本的规律,就是微粒散射光的强度随着微粒的表面积增加而增大。这样一定流量的含尘气体通过一束强光,让粒子发射出散射光,经过聚光透镜投射至光电倍增管上,把光脉冲变为电脉冲,由脉冲数可求得颗粒数。根据粒子散射光的强度和粒径的函数关系可以得出粒子直径。这样只要测定出散射光的强度就可以推知微粒的大小,这就是光散射式粒子计数器的基本原理。
 
尘埃粒子计数器操作方法
 
不同型号的深圳尘埃粒子计数器,在操作界面方面和功能方面会有一些差别,但基本的操作步骤都是差不多的:
 
1.打开电源预热。
2.设置工作参数,如果和上次一样那么不需要更改,具体的按键操作可参考每台仪器的产品介绍。注意在采样状态下,设置是无效的。
3.设置完成后,即可开始采样测定,读取出数据。
4.连接打印机,将数据导出打印出来,一些有内置打印机的产品可以直接打印出来。
 
尘埃粒子计数器校准维护
 
1、粒子计数器是国家规定的计量器具,在使用了一段时间之后,其光学系统以及检测系统都会发生变化,如果光源老化、发光效率降低或者聚焦错位、透镜被污染,从而使整机的转换灵敏度变化。因此需按JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》的要求每年定期到国家空调设备质量监督检验中心或者中国建筑科学研究院建筑能源与环境检测中心进行定期校准,并且根据其出具法定校准证书对仪器各方面进行调整以获得最佳工作状态。
 
2、仪器的工作位置和采样管的进气口应处于同一气压和同一温度下,以避免影响气路系统工作和产生凝露二损坏光学系统。若必须在有压差的情况下工作,则最大压差不超过200Pa在有压差和温度的条件下工作,会增大测量误差,甚至会损坏仪器。
 
3、搬运仪器的时候,应该轻搬轻放,少受震动,最好放在专用包箱之内。
 
尘埃粒子计数器注意事项
 
在日常使用和保养中要注意下面几点:
 
1、 当入口管被盖住或被堵塞,不要启动计数仪
2、 应该在洁净环境下使用,防止对激光传感器造成损伤
3、 禁止抽取含有油污、腐蚀性物质的气体,也不要测有可能产生反应的混合气体(比如氢气和氧气)。这些气体也可能会在计数器内发生爆炸。测这些气体需与厂家联系从而取得更多的信息。
4、 没有高压减压设备(如高压扩散器)不要取样压缩空气,所有的计数器被设计用于一个大气压下操作。仪器的工作位置和采样口要处于同一气压和同一温湿度环境下,保证仪器正常地工作。
5、 水,溶液或者其它液体都不能从入口管进入传感器。
6、 粒子计数器主要用来测试净化车间干净的环境,当测量的地方有松散颗粒的材质,灰尘以及喷雾处时,须至少保持距进口管至少十二英寸远。以避免以上的颗粒及液体污染传感器及管路。
7、 取样时,避免取样从计数器本身排出来的气体所污染的气体。
8、 在连接外置打印机或连接外接温湿度传感器时,需要先关掉计数器;当执行打印操作时,打印机上须有打印纸,否则会损伤打印头。
9、 在搬运时,应该轻搬轻放,少受振动、冲击。特别是对于台式粒子计数器,更加要特别小心,以避免损坏内部元件。
 
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