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半导体洁净车间检测粒子浓度等级仪器

发布日期:2021-01-19 15:45责任编辑:www.szchinaway.com
半导体洁净车间检测粒子浓度等级仪器
 
洁净这个名词和概念源于18世纪六十年代的欧洲医学,当时的理解仅限于经喷洒消毒后可以控制创部感染率的处置室、手术室这类灭菌处理的工作环境。现代洁净室虽然延用了这个名词,但在定义和内涵上都与原有的概念有根本的不同,现代洁净室形成一项专门技术,其历史不过只有半个世纪。随着科技的发展洁净技术(cleanroom)是适应实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等方面要求而诞生的一门新兴技术。
 
洁净室的划分是以单位体积内所含灰尘数来计算的,数目越小表示洁净等级越高,一般每一级的划分都有不同直径灰尘数的要求,比如一般药厂、汽车4s店,十万级或万级就够了,但这对电子行业(尤其是微电子行业)仅仅是最低要求,比如半导体行业等级要求最低的测试间一般都不能高于1万级。
 
洁净车间在施工单位完成之后,甲方都行需要进行验收的,验收的时候就涉及到这个检测洁净度,看洁净度是否达到要求。今洁净度检测是洁净车间性能测试的核心,气流测试、压力测试等都只能在确认洁净车间的洁净度不受影响后才能正常进行。洁净车间洁净度检测使用尘埃粒子计数器,可以选用光散射粒子计数器、凝结核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但目前用得较多的是光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在运用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量,并且可以直接显现瞬时的含尘浓度,也可以对不一样粒径的含尘浓度进行测量,运用简略、便利、及时、灵活。
 
洁净室等级标准和国际标准ISO14644一样,都是根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。尘埃粒子计数器有不同的规格,在国标GBJ73-84中规定:对于100级的净化车间,每次取样量应大于或等于1L,对于1000~10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.3L,对于10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.1L。对于100级净化车间,宜选用大流量粒子计数器进行测验。
 
CW一RPC系列远程激光尘埃粒子计数器是赛纳威研发的智能多点监控系统的终端设备,可以通过RJ45网络接口、WiFi、485 (moudbus)等,将数据传输给PC终端,为用户提供实时准确的车间微粒数量和净化等级。该粒子计数器按照国际标准IS014644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,其计数效率和准确性满足JJF1190-2008《尘埃粒子计数器》校准依据,专业应用于电子行业、制药车间、食品、药品车间、半导体、光学或精密机械加工车间等洁净环境;用户可根据需要增加或减少控制终端,可实现7*24实时远程自动监测,有助于企业提升自动化、精细化管理。
 
粒子计数器设备分落散布在车间各监控点位,由安装了系统监控软件的主控电脑控制各采集点的工作状态;监控软件可选择设定测试粒径、测试时间、采样间隔、刷新频率、显示单位、采样模式和超限报警等,并可对测试历史数据按需求进行查询、统计、分析及绘制曲线图,并可提供moudbus485通讯协议对接用户物联网平台,供用户自行开发和应用。
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