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使用激光尘埃粒子计数器测量的尘埃粒子UCL怎么算

发布日期:2020-10-14 15:12责任编辑:www.szchinaway.com
使用激光尘埃粒子计数器测量的尘埃粒子UCL怎么算

1目的:检查洁净室(区)空气中悬浮粒子数是否符合要求。
2范围:凡公司10万级、1万级、100级的洁净环境均应作悬浮粒子检查。
3职责:测定尘埃粒子数人员、工艺员对本程序实施负责。
4程序

4.1所用仪器 光散射粒子计数器。
4.2测试规则
4.2.1测试条件
4.2.1.1温度和湿度 洁净室(区)的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应(温度控制在18℃~24℃,相对湿度控制在45%~60%之间为宜)。

4.3尘埃粒子数测定
4.4仪器操作参照《尘埃粒子计数器操作程序》。
4.5结果计算

悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算:

1、采样点的平均粒子浓度C1+C2+……CnA = —————————N式中:A:某一采样点的平均粒子浓度(粒/m3) C1:某一采样点的粒子浓度(粒/m3) C2:某一采样点的采样次数(次)。
2、平均值的均值:A1+A2+……ALM = ——————————L式中:M:洁净区的平均粒子浓度,即平均值的均值;(粒/m3) L:某一洁净室内的总采样点数(个)。
3、标准误差式中:SE:平均值均值的标准误差,(粒/m3)
4、置信上限: UCL=M+t×SE式中:UCL:平均值均值的95%置信上限(粒/m3); t:95%置信上限的t 分布系数(见下表);95%置信上限的t 分布系数采样点L 2 3 4 5 6 7 8 9 ≥9T 6.31 2.92 2.35 2.13 2.02 1.94 1.90 1.86注:当采样点多于9点时,不需要计算UCL
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