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洁净室无尘车间专用尘埃粒子计数器解决方案

发布日期:2020-09-29 13:42责任编辑:www.szchinaway.com
众所周知粉尘检测仪和粒子计数器虽然都可以用光散射法原理,但是粒子计数器是用于洁净室里,而粉尘仪主要是用来测大气环境。为什么会这样呢?我们可以通过两种光散射的原理来判断。粉尘检测仪通过采气泵将待测气溶胶吸入检测舱,待测气溶胶在分支处分流成为两部分,一部分经过一个高效过滤器后被过滤为干净的空气,作为保护鞘气来保护传感器室的元器件不受待测气体污染。另一部分气溶胶,作为待测样品直接进入传感器室。传感器室中,主要元器件为激光二极管、透镜组和光电检测器。

检测时,首先由激光二极管发出的激光,通过透镜组形成一个薄层面光源。薄层光照射在流经传感器室的待测气溶胶时,会产生散射,通过光电探测器来检测光的散射光强。光电探测器受光照之后产生电信号,正比于气溶胶的质量浓度。然后乘以电压校准系数,这个系数通过测定特定浓度的气溶胶来得到。通常用来做标定的测试气溶胶是亚利桑那试验粉尘(或ISO12103-1,A1试验粉尘)。洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室zui主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘车间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘车间。

无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:

对于300000级空气净化处理,可采用亚高效过滤器代替高效过滤器;
空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、高效过滤器三级过滤器;
中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;
中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。
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