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半导体车间用一种远程粒子计数器监测装置

发布日期:2022-02-25 10:36:22责任编辑:www.szchinaway.com

半导体车间用一种远程粒子计数器监测装置


在半导体器件晶圆的制造过程中,其易受外来物、灰尘粒子、金属离子等外来物的影响而破坏表面结构、电子特性等的产品特点决定了其制造过程必须有洁净度的要求,而经过长期的实践分析,我们发现在半导体晶圆测试的过程中,测试间也必须置于洁净室中,洁净度的控制也同样重要。洁净室的洁净度控制不好时,会导致空气中的含尘量过高,从而导致外来物的增加,进而影响测试时的良率和稳定性甚至会导致探针测试卡的损坏。


洁净室(Clean Room),亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。


粒子计数器由显微镜发展而来,经历了显微镜、沉降管、沉降仪、离心沉降仪、颗粒计数器、激光空气粒子计数器、PCS纳米激光空气粒子计数器的过程,其中因激光空气粒子计数器测试速度快、动态分布宽、不受人为影响等各方面的优势,而成为很多行业的主流产品。深圳赛纳威就是一家专业从事环境检测仪器及环境监测治理系统开发和制造的高科技企业,拥有由留美博士、硕士和光机电及软件工程师组成的一流研发团队,公司早期开发的净化车间专用尘埃粒子计数器系列产品和气体检测仪器系列产品已经在国内外市场上占据了较高的市场份额,帮助大量用户实现了“高效便捷”的工作目标,并一直在努力为客户创造长期价值。

在线式粒子计数器    半导体粒子计数器

半导体车间用在线式远程粒子计数器产品介绍


远程在线式遥测激光尘埃粒子计数器是几乎每个精密电子车间必不可少的设备,如果在我们的半导体车间中有这样一种监测颗粒浓度的仪器,那么我们在办公室时就可以轻松了解车间中尘埃粒子情况,实现产品生产与监督智造的智能体验。例如,当我们检测到车间内的颗粒浓度过高时,我们可以及时通知相应车间的负责人,并采取针对性的措施降低颗粒浓度,以达到安全可靠的标准,这非常有利于产品的安全生产,为客户提供可靠的高质量产品。


远程粒子计数器可用于检测尘埃粒子。其实每个粒子产生的散射光强度都很弱,是一个很小的光脉冲。光脉冲需要通过光电转换器的放大转换成信号幅度较大的电脉冲,再通过电子电路进一步放大和判别,从而完成大量电脉冲的计数。此时,电脉冲的数量对应于粒子的数量,电脉冲的幅度对应于粒子的大小。


CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是智能多点净化检测系统的终端设备,不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级,根据不同需要增加或减少控制终端,还可以实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

粒子计数器应用领域

半导体车间用在线式远程粒子计数器公司简介


深圳赛纳威是一家专业从事环境检测仪器及环境监测治理系统开发和制造的高科技企业,拥有由留美博士、硕士和光机电及软件工程师组成的一流研发团队,公司早期由数位无尘车间行业内专家担当顾问,由多名资深内业洁净间环境研发人员组建研发团队,独立研发了具备自主知识产权的多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统,在质量监督所等权威检验机构、超大规模集成电路超净车间(室),电子行业、医疗卫生、食品加工、光学或精密机械等生产企业和航空航天等科研部门,我们提供无尘车间环境检测服务,并坚持在日常经营中,不断完善产品体系、服务体系、工程体系,还将在与客户的共同成长中在各个方面取得进步。


赛纳威运营至今,得到众多客户的一致好评,表明了赛纳威遵循“求实创新,用户至上”的企业宗旨、聚焦和满足客户的需求、提供极具竞争力的优质空气检测及治理产品和售后服务是完全正确的。赛纳威不仅愿为中国高端半导体洁净室产业健康稳定发展提供源源不断的技术理念支持,也愿与全球领先的厂商合作共赢,帮助用户实现“高效便捷”的工作目标,努力为客户创造长期价值。

粒子计数器应用难点

分享知识:


半导体车间用在线式远程粒子计数器洁净室介绍


洁净室(Clean Room),亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。


洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。


一般在洁净室是有等级的,采用多种工序操作时,应根据各工序不同的要求,采用不同的空气洁净度等级,依据工序要求确定等级。医药工业药生产工序的洁净级别和洁净区的划分,应参照《药品生产质量管理规范》中制剂和原料药工艺内容及环境区域划分而定。药品生产洁净室的空气洁净度划分为四个等级。在满足生产工艺要求的前提下,首先应采用低洁净等级的洁净湿或局部空气净化;其次可采用局部工作区域空气净化和第等级全市空气净化相结合或采用全面空气净化。对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。当其多次出现时,方可认为该测试数值是可靠的。

粒子计数器应用场景

半导体车间用在线式远程粒子计数器黄光区操作须知


1、湿度及温度会影响对准工作,在黄光区应注意温度及湿度,并应减少对准机附近的人,以减少湿、温度的变化。

2、上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得携出黄光区以免感光。

3、已上妥光阻,而在等待对准曝光之芯片,应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内,盒盖必须盖妥。

4、光罩使用时应持取边缘,不得触及光罩面,任何状况之下,光罩铬膜不得与他物接触,以防刮伤。

5、曝光时,应避免用眼睛直视曝光机汞灯。

新升级粒子计数器

半导体车间用在线式远程粒子计数器镊子的使用须知


1、进入实验室后,应先戴上手套后,再取镊子,以免沾污。 

2、唯有使用干净的镊子,才可持取芯片,镊子一旦掉在地上或被手触碰,或因其它原因而遭污染,必须拿去清洗,方可再使用。

粒子计数器应用场景设计

半导体车间用在线式远程粒子计数器具体的工作原理


粒子计数器是利用光的散射原理进行尘粒计数来测试空气尘埃粒子颗粒的粒径及其分布的专用仪器。光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒大小而言,有一个基本规律,就是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。这样一定流量的含尘气体通过一束强光,使粒子发射出散射光,经过聚光透镜投射到光电倍增管上,将光脉冲变为电脉冲,由脉冲数求得颗粒数。根据粒子散射光的强度与粒径的函数关系得出粒子直径。这样只要测定散射光的强度就可推知微粒的大小,就是光散射式粒子计数器的基本原理。


此外粒子计数器由显微镜发展而来,经历了显微镜、沉降管、沉降仪、离心沉降仪、颗粒计数器、激光空气粒子计数器、凝结核粒子计数器、多通道多功能粒子计数器等过程。它是国家规定的计量器具,在使用一段时间后,其光学系统及检测系统都会发生变化,如光源老化、发光效率降低或聚焦错位、透镜被污染,从而使整机的转换灵敏度变化。因此需按JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》的要求每年定期到环境检测中心进行定期校准,并根据其出具法定校准证书对仪器各方面进行调整以获得最佳工作状态。

粒子计数器工作原理

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