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洁净度标准,ISO14644洁净度等级标准

发布日期:2021-10-29 13:42:55责任编辑:www.szchinaway.com
洁净度标准,ISO14644洁净度等级标准(附各国洁净标准)
 
ISO14644洁净度等级标准(附各国洁净标准)
 
ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um范围内呈累积分布的粒子群。
 
根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。


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