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高规格高要求的半导体无尘车间,在线式远程粒子计数器帮大忙

发布日期:2021-10-29 13:41:28责任编辑:www.szchinaway.com
高规格高要求的半导体无尘车间,在线式远程粒子计数器帮大忙
 
高精密、高精细的半导体产品生产离不开高标准的生产车间,很多集成电路半导体的企业都对自家的半导体无尘车间采用了严格的防控措施,比如保证人净的措施、保证进入车间物料的净化、保证进入半导体车间内的空气是洁净的、保证净化空调系统的送风量、按要求保证洁净车间内的正静压值等有效措施。
 
这些措施确实可以帮助企业有效维护半导体车间的洁净度,不过无尘车间运行一段时间后,总免不了在一些死角、壁面、台面上会积存一些尘埃,如果我们没有及时把这些尘埃清理掉,它们就可能会在相当大的气流的冲击或者另外的某种扰动下,被重新卷入室内的空气流通中,进而也就增加了无尘车间内部空气尘粒的浓度,使半导体无尘室内的空气的洁净度等级下降,我们也就无法保证工艺的正常进行。针对上述情况,我们对半导体无尘车间车间进行定期的清扫是十分必要的,对无尘车间采取实时7*24实时远程自动准确监测微粒数量和净化等级的措施也是必不可少的。
 
科技创新正成为经济发展的新引擎,而无尘车间的发展与现代工业、尖端技术紧密的联系在一起,深圳赛纳威是一家专业从事环境检测仪器及环境监测治理系统开发和制造的高科技企业,公司早期开发的净化车间专用尘埃粒子计数器系列产品和气体检测仪器系列产品已经在国内外市场上占据了较高的市场份额,目前在质量监督所等权威检验机构、超大规模集成电路超净车间(室),电子行业、医疗卫生、食品加工、光学或精密机械等生产企业和航空航天等科研部门等行业运用已经相当的普遍且成熟。
 
半导体器件等高科技产品的生产环境要求很严,不仅要求恒温、恒湿,还要按单位体积中规定的尺寸灰尘粒子为标准分成洁净度的等级,比如一般分为10级、100级、1000级、10000级、100000级等,而CW-RPC系列程遥测激光尘埃粒子计数器的报警级别为100~1,000,000级(FED209E标准)或5~9级(ISO14644-1标准),可以满足极大多数半导体等高科技产品无尘车间对尘埃粒子浓度等级测试的要求,而且因其测试速度快、动态分布宽、不受人为影响等各方面的优势,而成为很多半导体无尘车间测量尘埃粒子浓度等级的主流产品。
 
尘埃粒子计数器有很多种分类,比如按测试原理有光散乱法测试(白光、激光)、显微镜法测试、称重法测试、扩散法测试、凝聚核法测试(CNC)等,而按流量来分的话就有小流量 0.1cfm(2.83L/min) 、大流量 1cfm(28.3L/min),GMP新规定中也有50L/min、100L/min流量的仪器;如果按形状、体积大小来对尘埃粒子计数器分类的就有手持式、台式等,按测试通道的话就有单通道(只测某一种粒子径)、双通道(测试某两种粒子径)、 多通道(测试多种粒子径)等,而CW-RPC系列程遥测激光尘埃粒子计数器的测试粒子粒径为0.3μm、0.5μm、5.0um(其他粒径用户可在订购时预设定),其流量是2.83升/分钟,可以同时对多个通道粒径进行采样监控,而且是智能多点的净化集成系统,可以7*24实时远程自动监测数据。
 
《计量法》明确了保障计量单位的统一和量值的准确可靠,无论是在生产、经营还是科学研究等方面,计量工作都是维护正常社会经济活动的重要保证。而且国家为保证全国的某一参数量值的一致、准确,使在用计量器具的量值能够溯源到国家计量基准,实现全国某一数量量值的准确,自上而下的建立了完善的全国量值溯源体系。深圳赛纳威生产的CW-RPC系列程遥测激光尘埃粒子计数器一致性损失为当每立方米2,000,000个粒子时小于5%,而且计数效率达到了100±10%@0.5μm,可以说是同行业的顶尖标准,已经被广泛应用于各省市药检所、血液中心、防疫站、疾控中心、质量监督所等权威机构、电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工、塑胶、喷漆、医院、环保、检验所等生产企业和科研部门。
 
我曾深度接触赛纳威仪器研发、生产第一线,从对一块面板的细心生产、精心组装,到全程员工饱满的热情,积极主动地态度,我们可以感受到赛纳威对产品的那种敬畏感,从生产到品控,责任到人,纪律严明,这也显示出了赛纳威作为全球老牌尘埃粒子计数器生产厂商多年积累的丰富生产经验以及对产品精益求精的态度。深圳赛纳威各部门成员上下一条心团结一致,工作热情饱满,一切困难都将迎刃而解。


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